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入射到基底表面上的氣相原子在表面上形成吸附原子后，它便失去了沿表面法線方向的動能，只具有與表面水平方向相平行運動的動能。依靠這種動能，吸附原子可以在表面上作不同方向的表面擴散運動。在表面擴散過程中，單個吸附原子間相互碰撞形成原子對之后才能產(chǎn)生凝結(jié)。因此凝結(jié)就是指吸附原子結(jié)合成原子對及其以后的過程。所以吸附原子的表面擴散運動是形成凝結(jié)的必要條件。表面擴散能比吸附能小得多，大約是吸附能的1/6~1/2。

吸附原子在一個吸附位置上的停留時間稱為平均表面擴散時間。

吸附原子在表面停留時間經(jīng)過擴散運動所移動的距離(從起始點到終點的間隔)稱為平均表面擴散距離。